掃描電鏡服務(wù)制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等，對(duì)于導(dǎo)電材料，可直接放入樣品室進(jìn)行分析，對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。打開(kāi)鏡筒上部的發(fā)射倉(cāng)頂蓋，使用專(zhuān)業(yè)工具來(lái)提取鏡筒中的襯管，提取過(guò)程取出之后，然后再用專(zhuān)用工具的另外一根專(zhuān)用工具插入襯管中，慢慢推出襯管中的幾個(gè)光闌。襯管和光闌清洗完成后，經(jīng)烘烤后趁熱依照光闌的原來(lái)的順序倒過(guò)來(lái)，按專(zhuān)用工具上的規(guī)定的距離刻度依次推進(jìn)到襯管中的原位置。
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線(xiàn)信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線(xiàn)分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
掃描電鏡服務(wù)有些探測(cè)器造價(jià)昂貴，比如背散射電子探測(cè)器，這時(shí)，可以使用二次電子探測(cè)器代替，但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除二次電子。
對(duì)于掃描電鏡而言，靠近鎢燈絲最近的零件為柵極片，而柵極片的尺寸和形狀對(duì)于電子源交叉束斑的尺寸大小、形狀乃至亮度都有直接的影響。光柵通常采用鉭等耐高溫又不易氧化的材料制成，光柵的中心孔直徑約500μm。由于負(fù)偏壓的存在，入射的高能電子束雖然沒(méi)有直接接觸到光柵，但是鎢陰極的加熱溫度高達(dá)2700K左右，而且其陰極尖距離光柵的中心孔邊緣約0.5mm，所以光柵容易受到陰極揮發(fā)出來(lái)的鎢和氧化物的污染，因此光柵需要經(jīng)常進(jìn)行清洗，否則時(shí)間久了，容易造成鎢陰極和光柵之間的打火現(xiàn)象。清洗光柵和陽(yáng)極帽上的氧化鎢及其他污染物，可用金屬拋光液進(jìn)行擦拭清洗，然后擦拭光亮后，用流水進(jìn)行清洗，再依次分別放入氫氧化鉀的酒精溶液，雙氧水，丙酮，高純度酒精中，進(jìn)行超聲波清洗，最后再用紅外烘烤燈15min趁人進(jìn)行組裝。
掃描電子顯微鏡是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異，在電子束作用下通過(guò)試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號(hào)是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是最主要的成像信號(hào)[。為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。
掃描電鏡服務(wù)襯管和光闌是電子束和透鏡磁場(chǎng)的部位，而且光闌還是電子槍至樣品倉(cāng)這段通道中最狹小的關(guān)隘。襯管和聚光鏡光闌都是用無(wú)磁性的不銹鋼材料做出的，而物鏡光闌通常是用鉑、鉬或金等無(wú)磁性的貴金屬材料做成的，一定要用無(wú)磁性的金屬材料，以避免引入不必要的干擾磁場(chǎng)，這樣才不會(huì)干擾電子原有的運(yùn)動(dòng)軌跡，電子束才能受原設(shè)計(jì)的軌道運(yùn)動(dòng)，也才能讓電子束斑盡可能處于螺旋對(duì)稱(chēng)的狀態(tài)。
